多晶硅還原爐體及鐘罩干式清理系統
德高潔多晶硅還原爐體及鐘罩干式清理系統使用時利用上下移動和旋轉機構帶動高壓氣體噴吹以及特殊旋轉刷組合機構近距離對反應釜表面進行噴吹和接觸式清掃達到清洗的目的。通過清洗旋轉調速機構可滿足各工況的要求。清洗的同時采用特殊除塵凈化器一次性進行除塵凈化。[查看詳情]
自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統
自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統是德高潔獨立自主研發(fā)，其工作原理是以水力自驅動三維自動旋轉噴頭，形成360°的網狀噴射表面，完成鐘罩內部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。[查看詳情]
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